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激光器及應用系統
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FX系列飛秒板條超快激光器
Edgewave的FX-系列是基于InnoSlab激光技術的飛秒振蕩放大系統。
特點
光束質量: M2 < 1.5
脈沖能量可達到 100μJ
脈寬600fs
峰值功率可達到 160MW
脈沖重復頻率可到 50 MHz
平均功率可達 200W
波長 1030、 515、 3436nm
應用
•光伏產業，如:硅晶園的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池
•印刷工業，如: 印刷輪雕版
•顯示領域，如: 構造導電層
•電子行業，如: 印刷電路板的鉆孔和切割
•汽車行業，如: 燃油噴射閥門的制造
型號
FXxxx-1
FXxxx-2
FXxxx-3
波長 [nm]
1030
515
343
最gao光束質量 M2
1.1
1.5
最da平均功率 [W]
600
250
50
最da重復頻率 [MHz]
最da脈沖能量 [μJ]
3000
1200
最小脈沖寬度 [fs]
400
300
能量穩定性[%] rms
1
2
時序穩定性 [ns]
20
偏振
> 100:1
光束橢圓率（遠場）[%]
<10
出光口光斑直徑 [mm]
3
全發散角 [μrad]
500
226
指向穩定性 [μrad]
< 100
預熱時間，從冷態開始時［min］
15
30
從待機開始 [min]
8
電源
90 - 264V, 50/60Hz或180 - 264V, 50/60Hz
功率
0.5kW-5kW
水冷機
230、208、115、100V，50/60Hz
0.8kW-5kW
工作環境溫度
15℃～35℃
相對濕度，非冷凝
10% 至 80%
激光頭尺寸
650mm x 298mm x 150 mm
包含冷水機尺寸
19"x 15HU x 700mm
激光頭重量
50kg
包含冷水機重量
62-110kg
•工具制造和機械工程，如: 三維快速成型
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